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如何选择LED外延片的衬底材料

  • 发布时间:2017-12-01 10:14   来源:未知
(1)      衬底与外延膜的结构匹配:外延材料与衬底材料的晶体结构相同或相近、晶格常数失配小、结晶性能好、缺陷密度低。


(2)      衬底与外延膜的热膨胀系数匹配:热膨胀系数的匹配非常重要,外延膜与衬底材料在热膨胀系数上相差过大,不仅可能使外延质量下降,还会在器件工作过程中因发热而造成器件的损坏。


(3)      衬底与外延膜的化学稳定性匹配:衬底材料要有好的化学稳定性,在外延生长的温度和气氛中不易分解和腐蚀,不能因为与外延膜的化学反应使外延膜质量下降。


(4)      材料制备的难易程度及成本的高低;考虑到产业化发展的需要,衬底材料的制备要求简捷,成本不宜很高;衬底尺寸一般不小于2英寸。
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